1-クロロ-1,1-ジフルオロエタン 成分表示名称1-クロロ-1,1-ジフルオロエタン 原料由来詳細天然ガス 配合目的エッチングガス(半導体製造工程などで使用する。) JOCA基準× 備考欄呼吸器刺激性、オゾン層破壊、水生生物毒性