1-クロロ-1,1-ジフルオロエタン

  • 成分表示名称
    1-クロロ-1,1-ジフルオロエタン
  • 原料由来詳細
    天然ガス
  • 配合目的
    エッチングガス(半導体製造工程などで使用する。)
  • JOCA基準
    ×
  • 備考欄
    呼吸器刺激性、オゾン層破壊、水生生物毒性